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檢測需求為表面不能有劃痕磕傷邊緣磕碰

為了兼容多重類型缺陷,檢測方式采用明場和暗場分兩次曝光的檢測方式,明場使用同軸光檢測表面明顯劃傷磕碰等缺陷,低角度四面可調光做暗場檢測較為輕微的邊緣磕碰以及表面擦傷。


四面可調也可為后期檢測難度更大缺陷分四次曝光,使用2.5D檢測方式檢測,檢測類似輕微凹陷變形等缺陷

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